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双面研磨抛光机系列

双面研磨/抛光机

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双面研磨/抛光机-下载凯发k8

被加工件最大厚度：30mm
被加工件最大直径：φ290mm
机器重量：约4200kg
本机器主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体及其他半导体材料的双面高精度研磨或抛光，也适用于其他金属、非金属、光学玻璃、蓝宝石等硬、脆、薄材料的双面高精度研磨或抛光。
this machine is suitable for double-side precision lapping and polishing of silicon wafer, crystal quartz wafer, sapphire wafer, optical crystal, optical glass, lithium niobium acid, ceramic wafer, and other hard and fragile materials.

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产品描述

参数

机器采用三电机驱动，主电机驱动下盘和齿圈，上盘、太阳轮分别由电机单独驱动，电机均采用变频电机，实现平稳的停止、加速、减速及换向;

机架采用龙门式结构，刚性好，承压能力强，能满足高负载下高速稳定运行;

齿圈升降结构由气缸驱动含斜面的抬升套旋转，实现齿圈升降;

上盘下降过程中，设置了快降和缓降,缓降行程在气缸行程范围内可调，缓降速度也可根据工件抗冲击程度自由调整;

为了满足不同用户的特殊需要，该机的内齿圈和太阳轮的速度分别可调，调整速度实现游星轮的正、反转;通过游星轮正转和反转，实现盘面的修研。

项目	规格	项目	规格
yj-16b8lb		yj-16b8pb
上下盘(mm)(内径x外径x厚度)	φ1188xφ618x45 (柱销齿)	上下盘(mm)(内径x外径x厚度)	φ1188xφ618x45 (柱销齿)
最小研磨厚度 (mm)	0.3	最小抛光厚度 (mm)	0.3
最大研磨厚度 (mm)	30	最大抛光厚度 (mm)	30
最大研磨直径(mm)	φ290	最大抛光直径(mm)	φ290
安装游星轮个数	8	安装游星轮个数	8
下盘转速	0-50rpm	下盘转速	0-50rpm
上盘提升气缸行程	450mm	上盘提升气缸行程	450mm
齿圈抬升行程	30mm	齿圈抬升行程	30mm
上盘电机	三相 7.5kw 1450rpm	上盘电机	三相 7.5kw 1450rpm
下盘电机	三相 7.5kw 1450rpm	下盘电机	三相 7.5kw 1450rpm
太阳轮电机	三相 1.5/2.2kw 1450rpm	太阳轮电机	三相 1.5/2.2kw 1450rpm
砂泵电机	250w	砂泵电机	250w
加压范围	0-400kg	加压范围	0-400kg
工作压力	0.5-0.6mpa	工作压力	0.5-0.6mpa
装机容量	约18kva	装机容量	约18kva
主机尺寸	1970x1765x2670 (mm)	主机尺寸	1970x1765x2670 (mm)
设备总重量	约4200kg	设备总重量	约4200kg
设备每平方米重量	约1550kg/㎡	设备每平方米重量	约1550kg/㎡
设备要求地面承重	约1710kg/㎡	设备要求地面承重	约1710kg/㎡